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重结晶 碳化硅 1650 ℃
氮化硅结合碳化硅1450 ℃
反应烧结碳化硅 1380 ℃
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如何选择碳化硅窑具?
1300摄氏度以下用SISIC反应烧结碳化硅,
1300-1400摄氏度可用NSIC氮化硅结合碳化硅,
超过1400摄氏度,选用RSIC重结晶碳化硅。
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