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如何避免重结晶碳化硅棚板析出物的污染问题

重结晶碳化硅承烧板相比其它碳化硅材质的棚板,具有诸多优异性能,但当烧成温度高时往往会出现白色透明状析出物,导致污染用户产品。这是由于氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、高纯电子陶瓷的窑炉一般都是氧化气氛,在温度达到1600度时,重结晶碳化硅棚板内部少量的硅会与氧气反应,生成二氧化硅蒸发附着到客户产品上,从而一定程度上污染产品。为了避免这种不利影响,通常唐山星斗碳化硅陶瓷公司会在承烧板上喷涂高纯氧化铝,或建议用户在承烧板表面撒一层刚玉砂,从而实现避免污染。

如在半导体、高纯电子陶瓷领域,有更高技术要求,我们也可进行精密加工及CVD-SiC沉积碳化硅处理。任何问题, 欢迎随时联系 199 3292 2868.

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