重结晶碳化硅板(也称:再结晶碳化硅棚板)开裂,一般由以下几种原因导致:
1)设计不合理或装载不科学,导致压坏棚板;
2)强制降温,比如吹风、吸风、炉内温度过高开炉门,产生极冷极热导致开裂;
3)与低熔点垫块,垫砂共用,导致高温侵蚀发生破损;
4)重结晶碳化硅承烧板潮湿,没有烘干就装窑,导致开裂;
5)人为因素,因操作不当磕碰导致破损。